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主要應(yīng)用于TFT-LCD、IPS、LTPS、OLED等顯示面板行業(yè)，針對(duì)制程當(dāng)中發(fā)光區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的亮點(diǎn)、灰亮點(diǎn)、亮線不良進(jìn)行鐳射修復(fù)。整個(gè)修復(fù)過程是通過高清像素CCD自動(dòng)定位，拍照取像分析，給出不良點(diǎn)坐標(biāo)，然后計(jì)算機(jī)根據(jù)指令將修復(fù)用的鐳射鏡頭移動(dòng)到位，自動(dòng)識(shí)別出不良點(diǎn)的形狀大小，激光會(huì)做出不同方式的維修。詳見如下圖解：
超快激光亮點(diǎn)修復(fù)特點(diǎn)：可以直接針對(duì)一個(gè)pixel里的異物亮點(diǎn)進(jìn)行單獨(dú)暗 化修復(fù)，而不影響周圍區(qū)域發(fā)光。
如下圖所示：
主要應(yīng)用于TFT-LCD、IPS、LTPS、OLED等顯示面板行業(yè)，針對(duì)制程當(dāng)中發(fā)光區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的亮點(diǎn)、灰亮點(diǎn)、亮線不良進(jìn)行鐳射修復(fù)。整個(gè)修復(fù)過程是通過高清像素CCD自動(dòng)定位，拍照取像分析，給出不良點(diǎn)坐標(biāo)，然后計(jì)算機(jī)根據(jù)指令將修復(fù)用的鐳射鏡頭移動(dòng)到位，自動(dòng)識(shí)別出不良點(diǎn)的形狀大小，激光會(huì)做出不同方式的維修。
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設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)表
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項(xiàng)目 |
主要參數(shù) |
備注 |
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鐳 射 系 統(tǒng) |
激光類型：超短脈沖 PS LASER |
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型號(hào)：DY LASER-100W |
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波長(zhǎng)：1040nm/515nm/343nm IR/GR/UV（波長(zhǎng)可選配） |
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頻率：0-1MHz |
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最大能量輸出：10uj |
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輸出參量穩(wěn)定性：±10% |
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光斑大?。赫叫?/span>/長(zhǎng)方/90度旋轉(zhuǎn)可調(diào) |
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最小光斑：2.5um*2.5um（50倍物鏡狀態(tài)下） |
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光斑尺寸調(diào)節(jié)范圍：50X MAX-24um*24um Min-2.5um*2.5um 20X MAX-60um*60um MAX-3um*3um |
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顯 微 成 像 系 統(tǒng) |
型號(hào)：ewin lens - 5 |
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成像透鏡：IR/GR/UV增透膜 |
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物鏡：5X（APO）、10X（APO）、20X（NIR）、20X（NUV） 50X （NIR） |
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物鏡切換：電動(dòng) |
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CCD像素：50萬(wàn)dP和1200萬(wàn)取像 |
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顯示器：17寸 1920*1080 |
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圖像采集卡品牌及型號(hào) ：麥恩 |
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機(jī) 架 結(jié) 構(gòu) |
材料：鈑金鋼架 |
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外觀尺寸:L1600mm*W1600mm*H1800mm |
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工作臺(tái)尺寸：550mm*400mm |
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XY軸行程：600mm*500mm |
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Z軸行程：200mm |
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XYZ軸移動(dòng)速度：高速≥10mm/s 低速：2mm/s 手動(dòng)微調(diào)：0.25mm/260度 |
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XYZ軸移動(dòng)精度：±0.02mm |
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XYZ軸微調(diào)部分：脈沖手搖輪 |
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平臺(tái)表面：墊高強(qiáng)度玻璃 |
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XY馬達(dá)：直線電機(jī) |
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Z軸馬達(dá)：直線電機(jī) |
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Z軸導(dǎo)軌：無油導(dǎo)軌 |
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運(yùn)動(dòng)控制卡品牌及型號(hào)：固高 |
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導(dǎo)軌絲桿品牌型號(hào)：臺(tái)灣上銀 V15型P級(jí)WIWIN雙導(dǎo)軌滾珠絲桿 |
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外觀油漆著色：乳白色 光油（無塵型） |
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懸梁架構(gòu)：鋼鐵鈑金焊接合成，單板厚度：12mm |
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顯示器固定座 ：可調(diào)節(jié)前后擺動(dòng) |
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減震：大理石+自動(dòng)平衡 氣壓規(guī)格：0.8MPA |
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軟 體 系 統(tǒng) |
控制功能： 1.激光能量、頻率、波長(zhǎng)切換、光斑大小調(diào)節(jié)及儲(chǔ)存 2.工作臺(tái)移動(dòng)、加工狀態(tài)參數(shù)顯示 3.顯微鏡頭切換控制 4.儲(chǔ)存200種加工用參數(shù) 5.任意圖形暗化設(shè)定 6.電腦： 技嘉主板 硬盤540G 4G內(nèi)存 intel CPU E5200 |
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電 氣 部 分 |
操作鍵盤功能： 1.5個(gè)顯微鏡頭切換按鍵 2.快慢4擋位切換 3.XYZ軸粗調(diào)、微調(diào) 4.照準(zhǔn)光源亮度調(diào)節(jié) 5.啟動(dòng)電源開關(guān) 6.啟動(dòng)按鈕 7.激光能量補(bǔ)嘗旋鈕（帶有保護(hù)蓋） 8.急停開關(guān)
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帶有安全斷電光 |
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正門右上方異常急停開關(guān)及報(bào)警燈 |
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輸入電源：?jiǎn)蜗嘟涣?/span>220V 50-60Hz 10A |
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